Особое внимание к качеству воды уделяется на предприятиях, производящих печатные платы, интегральные микросхемы, полупроводники, жидкокристаллические дисплеи и микропроцессоры.

INEX обладает возможностями для предприятий микроэлектроники на высочайшем уровне реализовывать проекты систем получения, хранения и распределения чистых сред:

• воды деионизованной с удельным сопротивлением до 18 МОм*см / ультрачистой воды
• сжатого воздуха
• инертных газов (азота, углекислого газа, аргона)

Для удовлетворения особых требований микроэлектроники к содержанию в воде механических частиц, органических веществ и ионного состава мы применяем системы с использованием высокочистых инертных полимерных материалов (натуральный полипропилен PP, поливинилиденфторид PVDF). Монтаж производится с использованием автоматических машин бесшовной (ВСF) и инфракрасной (IR) сварки компании AGRU (Австрия).

В качестве дополнительных мер для систем хранения и распределения ультрачистой воды проводим дегазацию, ультра- и субмикронную фильтрацию, а также используем УФ-установку с длинной волны 185 нм. Кроме того, для обеспечения соответствующего качества деионизованной воды применяем актуальные методы контроля, в том числе определение общего органического углерода (ТОС), удельного сопротивления и содержания растворенных газов.